LG начала продажи литографов, дешево и быстро нарезающих кремниевые пластины и печатные…
Свое новейшее литографическое оборудование LG первым делом поставила своей «дочке», LG Innotek, которая производит электронные компоненты
Свое новейшее литографическое оборудование LG первым делом поставила своей «дочке», LG Innotek, которая производит электронные компоненты Установка не требует использования фотошаблонов, за счет чего снижаются производственные затраты и сроки выполнения работ. Без фотошаблонов быстрее и дешевле Система LDI использует ультрафиолетовые (УФ) лазерные лучи, генерируемые встроенным мощным лазерным диодным модулем. Она может создавать тонкие схемы размером от 1,5 до 3 микрометров. Технологию активной компенсации (RTAC) для измерения и коррекции искажений в реальном времени обеспечивает высокую производительность при изготовлении подложек размером до 600 х 600 мм. Установку можно применять для формирования слоев перераспределения (RDL) на различных материалах, включая традиционные печатные платы, кремниевые пластины и стеклянные подложки. В традиционных системах степперной литографии (stepper lithography) необходимы фотошаблоны, которые проектируются и изготавливаются до начала производства подложек. Фотошаблон — это пластина, различные участки которой пропускают свет по-разному, что позволяет переносить схемы на подложку во время экспозиции. Они дороги и требуют замены при каждом изменении производственного процесса, что увеличивает стоимость и время производства. В LG PRI заявили, что их разработка призвана сыграть ключевую роль в технологиях упаковки полупроводников следующего поколения (FoCoS, CoPoS).